Под технологическими средами понимаются жидкости и газы. предназначенные для обработки поверхности материалов и изделий электронной техники. К ним относятся вода различные растворители, кислоты, щелочи, газы. Для их очистки широко применяются сорбционные процессы.
В настоящее время при производстве электронных приборов широко используется деионизованная вода. Принципиальная схема очистки имеет вид (рис.I).
где К - катионит, полимерная, не растворяемая в воде органическая кислота с подвижным Н+ - ионом; Д - дегазатор; А - анионит, ионно-обменная смола, нерастворимое в воде основание о подвижным ОН- -ионом.
Деионизацию осуществляют последовательным фильтрованием воды через катионитовую колонку, дегазатор и анионитовую колонку.
На катионите происходит процесс обмена Н+-иона на содержащиеся в воде катионы растворимых примесей. Вода, выходящая из катионитовой колонки, является разбавленным раствором кислот.
Выбор схемы деионизадии воды зависит от содержания карбонатов в исходной воде. В результате катионного обмена в катионитовой колонке из карбонатов и бикарбонатов образуется углекислота. В воде, выходящей из катионитовой колонки и имеющей рН меньше 4, вся углекислота находится в виде СО2. Для ее удаления достаточно через воду противотоком продувать воздух. Это осуществляется в дегозаторе, который устанавливается непосредственно за катионовой колонкой.
Работа ионнообменной установки непрерывно контролируется по удельному сопротивлению воды, которое после второй ступени составляет величину не менее 1 М0м*см. Если удельное сопротивление упало ниже этой величины, катионитовую и анионитовую колонки отключают на регенерацию.
Процесс регенерации заключается в обработке катионита раствором сильной соляной кислоты, анионита - раствором едкого натра. При этом происходит вытеснение сорбированных ионов примесей и "зарядка" катионита и анионита соответственно Н+ и ОH- - ионами.
Комментариев нет:
Отправить комментарий